〔情報ＢＯＸ〕半導体製造装置の輸出規制、対象品目と企業への影響

［東京　３１日　ロイター］ - 米国から半導体製造装置の対中輸出規制を求められていた日本が、仕向け地を中国に限定しないながらも、７月から規制に踏み切る見通しとなった。経産省は高性能装置に対象を絞ったとし、「ボリュームゾーンを作る装置ではないため、企業の業績への影響は軽微」と説明する。それでも日本メーカー１０数社に影響が出るとしている。

東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センターで副センター長を務める品田高宏教授は、エッチング装置の東京エレクトロンや露光装置のニコン、洗浄装置のＳＣＲＥＥＮホールディングス、検査装置のアドバンテストなどが影響を受けるとみている。

一方で品田教授は「最初は影響があるかもしれないが、長い目で見たときは影響が低下してくるだろう。米国や日本で新たな半導体工場が立ち上がってくるので、そちらで吸収される」と話す。

ニコンはロイターの取材に対し、光源にフッ化アルゴン（Ａｒｆ）を使った「Ａｒｆ液浸露光装置」が審査対象になりそうだと回答。現在２種類の装置を販売しているという。「引き続き決められたルールを順守し、その中で最大限の成果をあげられるように努力する」とした。

東京エレクトロンは「発表された規制内容について確認の上、適切に対応する」、ＳＣＲＥＥＮは「内容を精査して経産省の指導を仰ぐ」、アドバンテストは「政府の方針に従って公正な取引を行っていく」とコメントした。

＊日本政府が輸出管理対象に加える半導体製造装置（２３品目）は以下の通り。

・洗浄装置３品目：不純物を除去する

・成膜装置１１品目：ウェハー表面に薄膜を形成する

・熱処理装置１品目：結晶を回復したり薄膜を形成する

・露光装置４品目：回路パターンをウェハーに焼き付ける

・エッチング装置３品目：ウェハー表面を削って回路パターンを形成する

・検査装置１品目：完成した集積回路を検査する